에스엔유, 마이크로웨이브 가열 이용한 장치 특허 취득

입력 2015-06-29 14:10:41 | 수정 2015-06-29 14:10:41
에스엔유는 마이크로웨이브 가열을 이용한 기화장치 및 이를 구비한 진공증착시스템 관련 특허를 취득했다고 29일 공시했다.


채선희 한경닷컴 기자 csun00@hankyung.com

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