테스, 공급부 및 이를 구비한 박막증착장비 특허권 취득

입력 2015-06-02 15:46:19 | 수정 2015-06-02 15:46:19
테스는 공급부 및 이를 구비한 박막증착장비 특허권을 취득했다고 2일 공시했다.

회사 측은 "이번 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술"이라며 "기판 또는 가스공급부가 이동하는 중에 공정가스를 공급, 증착이 균일하게 이뤄지도록 해 우수한 품질의 박막을 제공할 수 있다"고 설명했다.

채선희 한경닷컴 기자 csun00@hankyung.com

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