유진테크(084370), 특허취득(고주파 구동 유도 결합 플라...)

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 유진테크(084370)는 '고주파 구동 유도 결합 플라즈마를 이용한 웨이퍼 표면처리장치'에 관한 특허를 취득했다고 공시했다. 취득일자는 1월28일이다.
전일 내림세를 보이던 주가는 금일 플러스권에서 거래되고 있다. 오후 2시21분 현재,보합권인 5620원이다.

 유진테크가 최근 1년간 취득했다고 공시한 특허는 아래와 같다.

 
공시일자특허명칭

공시당일

등락률
금일공시고주파 구동 유도 결합 플라즈마를 이용한 웨이퍼 표면처리장치0.0%
08.01.03싱글 웨이퍼 챔버 방식의 화학기상증착장치를이용한 산화방지막의 제조장치 및 그 방법-3.59%
08.01.03변형방지용 보강구조를 갖는 엘씨디제조장비용서셉터-3.59%
08.01.03파티션 구조형 가열유닛과 이를 이용한 히팅장치-3.59%


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