유진테크(084370), 특허취득(챔버...)

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 유진테크(084370)는 '챔버'에 관한 특허를 취득했다고 공시했다. 취득일자는 5월20일이다.
4일 연속 내림세를 보이던 주가는 금일도 마이너스권에 있다. 오전 10시56분 현재,전일보다 20원(-0.39%) 내린 5120원이다.

 유진테크가 최근 1년간 취득했다고 공시한 특허는 아래와 같다.

 
공시일자특허명칭

공시당일

등락률
금일공시챔버-0.39%
08.03.12기판 주변부 지지대 지지 장치+2.04%
08.01.29ICP안테나 및 이를 이용한 플라즈마 발생장치0.0%
08.01.29고주파 구동 유도 결합 플라즈마를 이용한 웨이퍼 표면처리장치0.0%
08.01.03싱글 웨이퍼 챔버 방식의 화학기상증착장치를이용한 산화방지막의 제조장치 및 그 방법-3.59%
08.01.03변형방지용 보강구조를 갖는 엘씨디제조장비용서셉터-3.59%
08.01.03파티션 구조형 가열유닛과 이를 이용한 히팅장치-3.59%


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