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(주)테스 기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)(리프트핀유닛의 이동방법 및 기판처리장치)

입력: 2019-12-03 15:52 / 수정: 2019-12-03 15:52

기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
1. 특허명칭 리프트핀유닛의 이동방법 및 기판처리장치
2. 특허 주요내용 본 특허는 리프트핀 유닛의 이동방법 및 기판처리장치에 대한 것임.

본 특허는 기판의 하면 또는 상면에 박막을 증착하는 경우에 기판을 로딩 또는 언로딩시키는 리프트핀유닛의 이동을 위한 홀을 기판의 하부에 형성하지 않게 되어 리프트핀 홀로 인한 홀마크 또는 데드존이 기판의 하면 또는 상면에 발생하는 것을 방지하는 것을 목적으로 함.
3. 특허권자 (주)테스
4. 특허취득일자 2019-12-03
5. 특허 활용계획 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화
6. 확인일자 2019-12-03
7. 기타 투자판단에 참고할 사항 1. 출원번호(국내) :10-2017-0162250
2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임.
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