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(주)테스 기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)(탄소 및/또는 보론를 포함하는 비정질 실리콘막의 형성 방법)

입력: 2019-09-04 15:04 / 수정: 2019-09-04 15:04

기타 경영사항(특허권 취득)(자율공시)
1. 특허명칭 탄소 및/또는 보론를 포함하는 비정질 실리콘막의 형성 방법
2. 특허 주요내용 본 특허는 탄소 및/또는 보론을 포함하는 비정질 실리콘 막 형성 방법 및 이에 의해 제조된 탄소 및/또는 보론을 포함하는 비정질 실리콘막 및 이를 이용한 하드마스크 막의 제조 방법에 관한 기술임.

본 특허에 따른 탄소 및/또는 보론을 포함하는 비정질 실리콘 막 형성방법에  따르면 양산 공정에 적용 가능한 탄소 및/또는 보론을 포함하는 비정질 실리콘막을 제공할 수 있으며 하드마스크로서 적용 가능한 경도 및/또는 스트레스 특성을 가질 수 있음.
3. 특허권자 주식회사 테스
4. 특허취득일자 2019-09-04
5. 특허 활용계획 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화
6. 확인일자 2019-09-04
7. 기타 투자판단에 참고할 사항 1. 출원번호(국내) : 제10-2017-0184855
2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임
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